High Vacuum Feed Through Port

    高真空に対応なハーメチックフランジ構造です。
    4系統のフィードスルーを搭載しました。
      そのうちの2系統は端子台部まで、すべて導通経路に、アルメル/クロメルの材質で作り込まれています。
      したがって、熱電対を接続するだけで正確な温度管理が可能ですので、面倒な温度校正回路など考えなくてOK!
    4系統の通電経路には、それぞれ端子台を配していますので、ケーブルの付け替え作業が便利です。
    フランジ部とハーメチック部は独立した設計なので、例えば、フランジ部を交換するだけで、各社
SEMFIBの試料チャンバーポートに取り付け可能です。

 
Electrode Cradle

    クレードル(フレーム部)に、熱膨張を最小限に抑えるために、セラミックス素材を採用しました。もちろん、セラミックスなので、電気的絶縁性や対高温度に優れます。
    電極を金でコーティングしていますので、、接触面の通電性はむろん、耐酸化性にも優れています。
    クレードルのサイズは、TEM試料サイズの薄膜ヒーターを取り付け可能かつ最少サイズで製作しています。


  用途: 例えば、その場加熱や電場印加観察など。
  High Vacuum Feed Through Port Electrode Cradleを併用することで、、温度コントロール用熱電対をSEM内に導入可能にし、SEM内でのその場加熱観察を可能にしました。
  例えば、九州大学 大尾岳史氏の実験によると、電極間に薄膜ヒーターを取り付けることで所定の温度まで数秒で加熱可能であり、
  試料ドリフトはほとんどなかったと報告しています。  (本実験の詳細につきましては、大尾氏までお問い合わせください。)


  補足: 製品化の経緯
     上記報告の主テーマ「燃料電池評価のための三次元原子直視型加熱ホルダー製品化へ向けた加熱機構開発」に対し、弊社は、実験器の開発をサポートいたしました。
     大尾岳史氏が実験データー取得の成功を修められましたので、試作から更に改良を加え、当該の製品化に至りました。

  謝辞: 本製品は、福岡水素エネルギー戦略会議の支援を得て、製品化に至りました。