①電場用FIBメッシュの点線ヶ所にFIBで試料を形成・作製します。
②電場用FIBメッシュの繋がっているヶ所をFIBでバッサリカットします。







今まで、電場実験を実施するためには、試料作製にかなりのステップが必要であり、1回の実験をするために、 試料作りに時間を大幅に奪われていました。また、手作りのステップが多く制作途中に失敗する確率が高いため、 同じ条件で同じ試料を作製する事も極めて困難である問題点がありました。 そこで、メルビルはその試料作製の時間を短縮かつ簡素に電場試料を作成出来るようにするために、電場用 試料メッシュを考案してみました。

メッシュの特徴
1.薄膜の電極に絶縁膜を特殊な方法で張り付ける事で電極の対面を完全に絶縁しています。
2.電極になる面を薄膜化する事で、FIBでの切断の時間が短縮
3.電極の薄膜にすり割り溝を破れるギリギリまで、配しているので、FIBでの加工面積を少なくしました。




電場試験において重要なのはノイズレスである事です。
また、ノイズ対策した太いケーブルでは引きまわしが大変で、
ケーブルの重みで、ステージに負荷をかけてしまうので、
細い線でかつノイズ対策をする必要があります。
そこでケーブルはφ3の細さで、2重シールドにした拘りのノイズ
対策ケーブルを準備しております。

ソース側は、一般的なBNC規格に対応しております。
Tilt :Y軸傾斜する際のモードです。   
    絶縁されたクレードルでもポールタッチ
    を検出するモードです。
   この機能を設ける事で、限られた空間で可能な限り傾斜が
   とれるように対策しました。

E↑ :電場ポラリティー1 (電場のポラリティー切り替え可能)
E↓ :電場ポラリティー2




TEM Holder TEMホルダー 試料ホルダー SEM SEM ホルダー FIB Vacuum Vacuumポート

引張り ナノ引張り 圧縮 ナノ圧縮 ナノ引張りホルダー その場観察引張りホルダー その場観察圧縮ホルダー 
nano tensile holder