1.写真①の様に当該ブロックをFIBステージに取り付けます。
2.写真①の状態でバルク試料からTEM試料片を切り出します。
3.切り出したTEM試料片をFIB半月メッシュに引っ越します。
4.写真②の様に当該ブロックを90度回転させFIBステージにおきます。
  ※STUBピンが脱着可能で、90度向きを置きかえる事が可能です。
5.FIBに取付けTEM試料片をピックアップします。
6.MEMSチップのヒーティングスポットの位置へTEM試料片を取り付けます。
7.よってMEMSチップの面と平行にTEM試料片を置く事が可能となります。

TEM Holder TEMホルダー 試料ホルダー SEM SEM ホルダー FIB Vacuum Vacuumポート

引張り ナノ引張り 圧縮 ナノ圧縮 ナノ引張りホルダー その場観察引張りホルダー その場観察圧縮ホルダー 
nano tensile holder